赞！邯郸市一个科研项目获国家超亿元支持

　　此项目为“高纯电子气体研发及产业化”，已列入国家重大科技专项

　　从邯郸市科技局获悉，由位于邯郸市的中船重工第七一八研究所牵头，联合相关单位承担的“高纯电子气体研发及产业化”项目，日前正式立项列入国家“极大规模集成电路制造装备及成套工艺”国家重大科技专项，获国家财政经费支持1亿多元。这也是邯郸市首次承担国家重大科技专项。

　　据介绍，作为“高纯电子气体研发及产业化”项目的牵头和主要承担单位，中船重工第七一八研究所将组织江苏南大光电、大连光明化工等单位，共同研究开发集成电路制造工艺用特种气体制备关键共性技术，开发IC制造过程离子注入、扩散、刻蚀等关键工艺用电子气体和源产品，形成批量生产，构建支撑我国特种电子气体技术发展的人才团队和研发平台，为我国极大规模集成电路制造领域持续发展奠定基础。

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